Hochtemperatur-Adsorber mit hoher Kapazitätzur Reinigung von Helium.
Dieses Gasreinigungs-System basiert auf der Chemisorption der Verunreinigungen an einer hochreaktiven Metalllegierung.
max. Durchsatz: 1000 ml/min, Endreinheit (Rohgas 5.0): Verunreinigungen < 10 ppb, bezogen auf:H2O, H2 , O2 , N2 , NO, NH3 , CO, CO2 , CH4
(u.a. wie CF4 , CCl4 , SiH4 , KWs)